实验室负责教师：郭等柱
实验室简介：
真空电子器件在航天、国防、科研以及工业领域有着非常广泛的应用并发挥重要作用。传统的真空电子器件体积大、功耗高，已经成为发展微小型尖端仪器的限制因素。例如Science杂志2014年的一篇评述文章就指出，发展微小型质谱仪的最大挑战来自微型真空系统。本实验室多年来致力于将传统真空电子器件微型化，专注于微型溅射离子泵、微型集成真空测量、碱金属微气室封装以及便携式质谱仪的研究开发与应用推广。过去几年已成功将实验室开发的核心技术向航天部门和电子科技集团的研究所以及企业进行推广，取得良好成绩。我们在国内首先开发成功碱金属微气室封装技术，除了配合北京大学课题组完成微型原子钟等国家项目，还向3个单位进行了技术转让。我们基于MEMS技术开发出高稳定、长寿命的场发射电子源，用于小型飞行时间质谱仪研制。航天部门对这项技术十分感兴趣，已经委托我们研制成功质谱仪原理样机，后续合作正在开展。作为配套技术，我们研制的微型真空泵和微型集成真空测量器件已经取得重要进展。下一步还将开发小型真空射频端子等器件，并逐步把技术推向市场。
